Вакуумные компоненты

Термическая обработка в основном включает процессы окисления, диффузии и отжига.Окисление — это аддитивный процесс, при котором кремниевые пластины помещаются в высокотемпературную печь и добавляется кислород, который вступает в реакцию с ними с образованием кремнезема на поверхности пластины.Диффузия заключается в перемещении веществ из области с высокой концентрацией в область с низкой концентрацией посредством молекулярного теплового движения, и процесс диффузии можно использовать для легирования определенных легирующих веществ в кремниевой подложке, тем самым изменяя проводимость полупроводников.